A limpeza de superficies con plasma é un proceso no que se eliminan impurezas e contaminantes da superficie da mostra mediante a creación de plasma de alta enerxía a partir de partículas gasosas, foi deseñado para diversas aplicacións, como limpeza de superficies, esterilización de superficies, activación de superficies, alteración da enerxía superficial, etc. preparación da superficie para a unión e adhesión, modificación da química da superficie.